從機械制造技術發(fā)展來看，過去和現(xiàn)在達到怎樣的精度可被稱為精密加工和超精密加工。通常將加工精度在0.1-1微米，加工表面粗超度在0.02-0.1微米之間的加工方法稱為精密加工。而將加工精度高于0.1微米，
加工表面粗糙度小于0.01微米的加工方法稱為超精密加工。
精密加工和超精密加工的領域。精密加工和超精密加工的領域主要包括三方面。
1.超精密切削，如超精密金剛石刀具切削，可加工各種境界。它成功的解決了高精度陀螺儀，激光發(fā)射鏡和某些大型反射件的加工。
2.精密加工和超精密加工磨削研磨。例如解決了大規(guī)模集成電路基片的加工和高精度硬度磁盤的加工。
3.精密特種加工。如電子束，離子束加工。


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